型号：Vega 3 SBH 厂家：捷克TESCAN 放置地点：联合大厦A-103
主要规格及技术指标
1.分辨率:高真空(二次电子): 3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
(背散射电子): 3.5 nm at 30 kV
低真空(低真空二次电子): 3.5 nm at 30 kV
2.放大倍数:3 to 1000000×
3.真空系统: 低真空3~2000Pa
4.加速电压 0.2kV to 30kV
5.电子束电流 1pA~2uA
主要功能及特色
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,Channeling模式，非常方便寻找样品位置;
3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品
